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第八十四章核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件

本章其他编号未列名的机器零件(不具有电气接插件、绝缘体、线圈或其他电气器材特征的) 8487900000

船用推进器及桨叶 8487100000

其他品目8486项下商品用零件和附件 8486909900

带背板的溅射靶材组件 8486909100

引线键合装置用零件或附件(子目848640项下商品用) 8486902000

升降、搬运、装卸机器用零件或附件(子目848640项下商品用,但自动搬运设备用除外) 8486901000

其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备(升降、装卸、搬运单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路和平板... 8486403900

IC工厂专用的自动搬运机器人 8486403100

其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备 8486402900

引线键合装置(主要用于或专用于装配与封装半导体器件和集成电路的设备) 8486402200

塑封机(主要用于或专用于装配与封装半导体器件和集成电路的设备) 8486402100

主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置(掩膜版(mask),投影掩膜版(reticle)) 8486401000

其他制造平板显示器用的机器及装置 8486309000

其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置 8486304900

制造平板显示器用超声波清洗装置 8486304100

其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置(制造平板显示器用的机器及装置) 8486303900

制造平板显示器用分步重复光刻机 8486303100

其他制造平板显示器用薄膜沉积设备 8486302900

制造平板显示器用物理气相沉积装置(PVD) 8486302200

制造平板显示器用化学气相沉积装置(CVD) 8486302100

制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备 8486301000

其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 8486209000

制造半导体器件或集成电路用离子注入机 8486205000

其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备 8486204900

制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 8486204100

其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置(制造半导体器件或集成电路用的) 8486203900

制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机(步进光刻机) 8486203100

其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备 8486202900

制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置(物理气相沉积装置(PVD)) 8486202200

制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置(化学气相沉积装置(CVD)) 8486202100

氧化、扩散、退火及其他热处理设备(制造半导体器件或集成电路用的) 8486201000

其他制造单晶柱或晶圆用的机器及装置 8486109000

制造单晶柱或晶圆用的化学机械抛光设备(CMP) 8486104000

制造单晶柱或晶圆用的切割设备 8486103000

制造单晶柱或晶圆用的研磨设备 8486102000

利用温度变化处理单晶硅的机器及装置(制造单晶柱或晶圆用的) 8486101000

其他材料制密封垫及类似接合衬垫(成套或各种不同材料制,装于袋、套或类似包装内) 8484900000

其他机械密封件 8484200090

MLIS用转动轴封(专门设计的带密封进气口和出气口的转动轴封) 8484200030

转动轴封(专门设计的带有密封式进气口和出气口的转动轴封) 8484200020

耐UF6腐蚀的转动轴封(专门设计的真空密封装置,缓冲气体泄漏率1000cm3/min) 8484200010

密封垫或类似接合衬垫(用金属片与其他材料制成或用双层及多层金属片制成) 8484100000

品目8483所列货品用其他零件(包括单独报验的带齿的轮、链轮及其他传动元件) 8483900090

车用凸轮轴相位调节器(汽车发动机用) 8483900010

离合器及联轴器(包括万向节) 8483600090

压力机用组合式湿式离合/制动器(离合扭矩为60KNM-300KNM,制动扭矩为30KNM-100KNM) 8483600001

飞轮及滑轮(包括滑轮组) 8483500000

其他传动装置及变速装置(指齿轮及齿轮传动装置,齿轮箱和扭矩变换器) 8483409000

行星齿轮减速器 8483402000

滚子螺杆传动装置 8483401000

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